Эллипсометры

При изучении материалов методом эллипсометрии на поверхность падает монохроматический плоскополяризованный свет, который после отражения и преломления приобретает эллиптическую поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптическими постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании формул Френеля. На принципах эллипсометрии построены методы чувствительных бесконтактных исследований поверхности жидкости или твердых веществ, процессов абсорбции, коррозии и пр.

Компания Angstrom Sun Technologies (AST) является известным во всем мире производителем оптических решений для характеризации тонких пленок. Среди них доступные по цене, но передовые и высокоэффективные инструменты, такие как спектроскопические рефлектометры, микроспектрофотометры, микрорефлектометры, системы картирования толщины пленок, просты настольные измерители толщин пленок, автоматизированные спектроскопические эллипсометры с варьируемым углом. Также, AST предоставляет сервис по измерению пленок.

Эллипсометры Angstrom Sun Technologies успешно используются в лабораториях: NASA Marshall Space Flight Center,  National Institute of Standards and Technology, Massachusetts Institute of Technology (MIT),  Seoul National University,  NanoTech Center (CESTM) в SUNY,  Columbia University,  Hewlett-Packard Co., Lockheed Martin Co., General Electric (GE),  Corning Inc.,  Bell Laboratories,  Johnson-Johnson,  Mylan Technologies,  Applied Materials (AMAT),  Lam Research, Samsung Advanced Institute of Technology(SAIT), и  MIT Lincoln Laboratory и многих других.

Все модели делятся по признаку диапазона длин волн. Ниже краткое описание. Кроме того, модели серии 500 покрывают интервалы от 100 и 400. Возможна кастомизация в зависимости от решаемых задач: расширение диапазона длин волн в область глубокого УФ или ИК.

• Серия 100 покрывает диапазон длин волн от глубокого УФ до ближнего ИК, вплоть до 1100 нм
• Серия 200 покрывает глубокий УФ и видимый диапазоны
• Серия 300 покрывает видимый диапазон, начиная от 370 нм и до 850 нм
• Серия 400 покрывает ближний ИК, начиная от 900 нм
• Серия 450 покрывает интервал от видимого до ближнего ИК, начиная от 370 нм и до 1700 нм
• Серия 500 покрывает диапазон от глубокого УФ до ближнего ИК, вплоть до 2500 нм
• Серия 600 покрывает интервал от ближнего ИК до ИК (1.7 — 17 мкм или 1.7 — 30 мкм)

Модели приборов:

Сайт производителя: www.angstec.com