BSEM-810 полноразмерный SEM с катодом Шоттки

BSEM-810 — флагманский полноразмерный растровый электронный микроскоп с автоэмиссионной пушкой Шоттки (Schottky FEG), обеспечивающий разрешение 0,9 нм при 30 кВ — рекордный показатель среди приборов серии BestScope. Увеличение от 6× до 1 600 000×, более 11 аналитических интерфейсов и поддержка образцов диаметром до Ø 320 мм делают BSEM-810 универсальным инструментом для передовых научных исследований и высокотехнологичного производственного контроля.

Разрешение 0,9 нм — уровень ведущих мировых производителей

Многоуровневая коническая объективная система с малыми аберрациями и применение ускорения пучка обеспечивают разрешение 0,9 нм (SE при 30 кВ) и 3 нм (SE при 1 кВ). Это позволяет визуализировать отдельные нанотрубки, межзёренные границы, дефекты кристаллической решётки и тонкоплёночные структуры с деталями на субнанометровом уровне.

Четырёхсегментный BSE-детектор и система навигации

Полупроводниковый четырёхсегментный детектор обратноотражённых электронов обеспечивает высококонтрастное отображение состава по атомному номеру и формирует топографические карты поверхности. Встроенная IRCCD-камера совместно с оптической навигационной системой позволяет точно позиционировать зонд на образце в режиме реального времени.

Крупноформатные изображения — до 16 384 × 14 336 пикселей

Система хранения и обработки изображений обеспечивает максимальное разрешение снимков 16 384 × 14 336 пикселей — исключительный показатель, открывающий возможности для детального панорамного анализа больших площадей образца без потери информации. Форматы сохранения: TIF, BMP, GIF, JPG, PNG и цифровое видео AVI.

Пятиосевой столик для крупногабаритных образцов

Моторизованный эвцентрический столик с ходом X: 150 мм, Y: 150 мм, Z: 65 мм, T: −10°…+90°, R: 360° принимает образцы до Ø 320 мм в диаметре и высотой до 90 мм — вафли, подложки, крупные детали и нестандартные объекты без резки. Функция автостопа при касании защищает детекторы и образец.

Сверхвысокий вакуум с безмасляной механикой

Четырёхступенчатая вакуумная система включает ионный геттерный насос, ионный насос, турбомолекулярный насос (TMP) и безмасляный механический насос, что исключает загрязнение углеводородами. Вакуум в камере образцов поддерживается на уровне лучше 6,0×10⁻⁴ Па, в зоне электронной пушки — лучше 2×10⁻⁷ Па.

Аналитические возможности и расширяемость

Стандартная комплектация включает:

• SE — высоковакуумный детектор вторичных электронов

• BSE — полупроводниковый четырёхсегментный детектор обратноотражённых электронов

• IRCCD — инфракрасная камера с оптической навигацией

Более 11 предустановленных расширительных интерфейсов для подключения:

• EDS — энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (элементный анализ)

• WDS — волнодисперсионная рентгеновская спектроскопия

• EBSD — дифракция обратноотражённых электронов (текстурный и кристаллографический анализ)

Области применения

• Нитрид кремния, оксид алюминия и керамические материалы

• Нанодисперсные порошки кобальта и других металлов

• Углеродные нанотрубки (CNT) и наноматериалы

• Сепараторы аккумуляторов и электродные материалы

• Металлические полосы и поверхности после прокатки

• Полупроводниковые структуры, подложки и МЭМС-устройства

• Материаловедение, нанотехнологии, физика поверхности

Технические характеристики