BSEM-801 полноразмерный SEM с катодом Шоттки

BSEM-801 — полноразмерный аналитический растровый электронный микроскоп с автоэмиссионной пушкой Шоттки (Schottky FEG), разработанный для высококлассных научных исследований и прецизионной промышленной диагностики. Прибор обеспечивает разрешение 1,5 нм при 15 кВ и увеличение до 800 000×, устанавливая новый стандарт качества изображений в своём классе.

Автоэмиссионная пушка Шоттки — субнанометровые возможности

Электронная пушка Шоттки формирует зонд с исключительно высокой яркостью и малым угловым расхождением, что обеспечивает разрешение 1,5 нм (SE при 15 кВ) и 3 нм (BSE при 30 кВ). Многоуровневая коническая объективная система и три апертуры с внешней регулировкой (без разборки колонны) позволяют тонко настраивать условия съёмки под конкретную задачу.

Сверхвысокий вакуум — гарантия стабильности и ресурса катода

Вакуумная система состоит из ионного насоса, турбомолекулярного насоса (TMP) и механического насоса. Вакуум в камере образцов поддерживается на уровне лучше 6,0×10⁻⁴ Па, а в области электронной пушки — лучше 2×10⁻⁷ Па. Автоматическая система контроля вакуума с блокировкой исключает ошибки оператора.

Диапазон увеличений — от обзорного до атомарного масштаба

Увеличение от 8× до 800 000× при ускоряющем напряжении 0,2–30 кВ позволяет в рамках одного прибора работать как с макроструктурой образца, так и с нанометровыми деталями. Изображения сохраняются с разрешением 4096 × 3072 пикселей в форматах TIF, BMP, GIF, JPG, PNG, а также в виде цифрового видео (AVI).

Пятиосевой моторизованный эвцентрический столик

Столик с ходом X: 80 мм, Y: 50 мм, Z: 30 мм, T: −5°…+70°, R: 360° принимает образцы до Ø 175 мм в диаметре и высотой до 40 мм. Функция автостопа при касании защищает детекторы и образцы от повреждений в ходе манипуляций.

Аналитические возможности и расширяемость

Стандартная комплектация включает:

• SE — высоковакуумный детектор вторичных электронов (топография)

• BSE — интегрированный детектор обратноотражённых электронов (контраст по Z)

• IRCCD — инфракрасная камера для навигации по образцу

Более шести предустановленных расширительных интерфейсов обеспечивают подключение:

• EDS — энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия

• WDS — волнодисперсионная рентгеновская спектроскопия

• EBSD — дифракция обратноотражённых электронов (кристаллографический анализ)

Развитое программное обеспечение

ПО реализует полный спектр функций: автоматическое включение/выключение эмиттера, автофокус, автоустранение астигматизма, усреднение кадров и строк, режимы точечного и линейного сканирования, реальное время отображения поля сканирования, замер ширины линий (line width measurement), качающееся центрирование и многоканальный ввод.

Области применения

• Кремний-углеродные и графеновые наноматериалы

• Катодные материалы для литий-ионных аккумуляторов (LFP и др.)

• Диагностика полупроводников: PN-переходы, слои травления микросхем

• Измерение ширины линий в микро- и нанолитографии

• Металловедение и кристаллография (EBSD)

• Научные исследования в области нанотехнологий и физики поверхности

Технические характеристики