Лазерные сканирующие конфокальные микроскопы серии VK-X компании Keyence являются самыми привлекательными с точки зрения возможностей приборами для измерения профиля поверхности образца, шероховатости, толщины пленки и, конечно же, для получения изображения поверхности с суб-микронным разрешением. Многие инновации в лазерной сканирующей микроскопии были сделаны компанией Keyence. Их флагманом является модель VK-X1000. Модель не стало исключением с точки зрения нововведений и сочетает в себе такие новые для индустрии особенности, как:
- Площадь анализа в 16 раз больше, чем у других, обычных лазерных микроскопов.
- Быстрые 3D измерения, в 12 раз быстрее, чем с использованием других, обычных лазерных микроскопов.
- Измеряемый диапазон 50 мм.
- Гарантированная точность с объективами с малым увеличением.
Предыдущие модели микроскопов Keyence имели такие новшества для своего времени, как:
- Самое высокое разрешение по Z — 0.5 нм.
- Самый высокий динамический диапазон детектора — 16 бит.
- Широкоформатное сканирование (сшивка).
- Полностью автоматизированные измерения по нажатию одной кнопки.
- Получение изображений высокого разрешения с реалистичной цветопередачей. 16-битное цветное лазерной изображение.
- 3CCD режим камеры, дающий разрешение 21.6 Мп.
- Точные результаты измерений на наклонных поверхностях или объектах с различным уровнем контрастности.
- Режим сканирования на сверхвысокой скорости 120 Гц.
- Функция HDR для беспрецедентной четкости изображения, что позволяет рассмотреть объект в мельчайших подробностях.
- Функция коррекции позиции относительно эталонного изображения объекта. Полезно при измерении большого количества подобных объектов.
- Штатив с настраиваемой высотой.
При этом первый лазерный сканирующий микроскоп был выпущен компанией Keyence в 1995 году.
Лазерный сканирующий микроскоп Keyence VK-X1000 фактически является прибором, включающим в себя возможности оптического микроскопа, профилометра и сканирующего электронного микроскопа. Микроскоп позволяет получать изображения в цвете с высоким увеличением, 3D, с высоким разрешением, с высокой контрастностью, с большой глубиной резкости и при этом проводить измерения шероховатости без повреждения образцов, линейных размеров, размеров объектов различных форм и т.д. Не требуется подготовка образцов, нет ограничений по их размерам. Все измерения выполняются на воздухе: не требуется создание вакуума для достижения увеличения 28800x.