Свяжитесь с нами: +7 499 350-20-60 | info@conetech.ru

Устройство картирования толщины пленки SRM300

Film Thickness Mapping Tool SRM300 ReflectometerСистема SRM300 позволяет проводить картирование толщины пленки и показателя преломления вплоть до 5 слоев. Устройство может работать с подложками различной геометрии с диаметром вплоть до 300 мм. Возможны различные шаблоны картирования в линейных, полярных, прямоугольных или произвольных координатах.

Особенности:

  • Простота установки и управления, ПО на базе ОС Windows
  • Подложки различной геометрии с диаметром вплоть до 300 мм
  • Различные шаблоны картирования в линейных, полярных, прямоугольных или произвольных координатах
  • Передовая оптика и надежная конструкция для лучшей производительности системы
  • Система детектирования на основе матрицы, чтобы обеспечить быстрое измерение
  • Карта толщины и показателя преломления вплоть до 5 слоев
  • Система поставляется с полной библиотекой оптических констант
  • Включает часто используемые рецепты
  • Передовое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать таблицу nk, аппроксимацию эффективной среды или рассеяния для каждой отдельной пленки
  • Возможен апгрейд до MSP системы картирования с распознаванием рисунка; большое пятно для картирования через структуры с рисунком (модель Zonerage)
  • Для разных типов подложек с различной толщиной
  • 2D и  3D графики и удобный интерфейс работы с данными

Конфигурация системы:

  • Детектор: CCD матрица с 2048 точками
  • Источник света: вольфрамовая – галогенная лампа, регулируемая
  • Доставка света: оптика
  • Стол: анодированный алюминиевый сплав, для образцов до 300 мм
  • Коммуникация: USB
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.x/3.x
  • Типы измерений: толщина пленки, спектр отражения, показатель преломления

Спецификация:

  • Интервал длин волн: от 400 до 1050 нм
  • Размер пятна: от 500 мкм до 5 мм
  • Размер образца: до 300 мм в диаметре
  • Толщина подложки: до 50 мм
  • Количество слоев: до 5
  • Измеряемый интервал толщин: от 50 нм до 50 мкм
  • Время измерения: 2 мс – 1 с
  • Позиционная повторяемость: 1 мкм
  • Точность: лучше, чем  0.5%
  • Воспроизводимость: < 2 Å

Опции:

  • Дополнительные модели с расширением интервала длин волн: SRM100: 250 нм  – 1000 нм, SRM400: 900 нм – 1700 нм, SRM500: 400 нм – 1700 нм
  • Другие размеры образцов: пластины 200 мм (SRM300-200)
  • Большой размер пятна
  • Принадлежности для пятна малого размера для работы с неоднородными образцами
  • SRM может быть дополнена специальными платформами для различных применений, опциями и функциями

Применение:

  • Производство полупроводников (фоторезист, оксиды, нитриды…)
  • Жидкокристаллические дисплеи (ITO, фоторезист, интервал между ячейками…)
  • Биологические пленки и материалы
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5…
  • Полупроводниковые соединения
  • Функциональные пленки в MEMS/MOEMS
  • Аморфный, нано- и кристаллический Si
Translation