BDEM-20 — настольный растровый электронный микроскоп (РЭМ) профессионального класса с вольфрамовым термоэмиссионным катодом и широкими возможностями расширения. Прибор сочетает разрешение 5 нм и увеличение до 360 000× с компактным настольным форм-фактором, режимом торможения пучка для анализа непроводящих образцов и богатой экосистемой in situ приставок.
Разрешение и диапазон увеличений
BDEM-20 обеспечивает увеличение от 25× до 360 000× — максимальное значение среди настольных РЭМ с вольфрамовым катодом — и разрешение до 5 нм. Ускоряющее напряжение плавно регулируется от 3 до 18 кВ с шагом 1 кВ, что позволяет точно подбирать режим под чувствительные образцы и твёрдые материалы.
Режим торможения пучка — без напыления золотом
Опциональный режим высоковольтного торможения предметного столика (10 кВ) позволяет исследовать низкопроводящие и непроводящие образцы в режиме реального времени без предварительного напыления проводящего слоя. Это существенно сокращает время подготовки образца и снижает риск его повреждения.
Сверхбольшая камера образцов и in situ приставки
Камера образцов размером 185 × 176 × 125 мм — одна из самых вместительных в классе настольных РЭМ — позволяет интегрировать широкий спектр in situ платформ: растяжной столик, нагревательный столик, криостолик TEC, модуль наноиндентирования. Встроенная видеокамера внутри камеры обеспечивает визуальный контроль размещения образца в режиме реального времени.
Быстрая смена образцов — 30 секунд
Благодаря постоянному поддержанию вакуума 5×10⁻⁵ Па в пушечном блоке время смены образца составляет всего 30 секунд. Это значительно повышает производительность при серийном анализе и продлевает ресурс вольфрамового катода. Опционально доступен катод LaB₆ для повышенной яркости пучка.
Гибкие вакуумные режимы
| Режим | Параметры |
|---|---|
| Высокий вакуум | Автоматический, смена образца за 30 с |
| Низкий вакуум (опция) | 1–60 Па, автоматическое управление |
Низковакуумный режим незаменим при работе с влажными, пористыми или газовыделяющими образцами биологического и химического происхождения.
Детекторы и программное обеспечение
Стандартная комплектация включает четырёхсегментный детектор обратноотражённых электронов (BSE) и детектор вторичных электронов (SE); опционально доступен интегрированный спектрометр (EDS). Программное обеспечение поддерживает автоматическую настройку яркости, контраста, фокуса, авторассеяние и сшивку крупноформатных изображений.
Пятиосевой предметный столик (опция)
Опциональный 5-осевой центрированный столик с параметрами X: 90 мм, Y: 50 мм, Z: 25 мм, R: 360°, T: −10°…+90° даёт полную свободу позиционирования образца при наклонных и томографических исследованиях. Базовый трёхосевой вариант: X: 60 мм, Y: 60 мм, T: ±45°.
Области применения
-
Промышленный контроль качества и инспекция изделий
-
Исследование волокон, полимеров и химических материалов
-
Анализ катодных и анодных материалов литий-ионных аккумуляторов (в т.ч. тернарного лития)
-
Металловедение и материаловедение
-
Фармацевтика и науки о жизни
-
Ботаника, экология и биология растений
-
Тестирование электронных компонентов и диэлектрических плёнок