BSEM-691 — полноразмерный аналитический растровый электронный микроскоп (РЭМ) с вольфрамовым термоэмиссионным катодом, предназначенный для научных исследований, промышленного контроля качества и материаловедения. Прибор обеспечивает разрешение 3 нм при 30 кВ и увеличение до 300 000×, а более десяти интерфейсов для периферийного оборудования (EDS, WDS, EBSD и др.) превращают его в полноценный аналитический центр.
Высокое разрешение при широком диапазоне напряжений
Ускоряющее напряжение плавно регулируется от 0,2 до 30 кВ: с шагом 100 В в диапазоне до 10 кВ и шагом 1 кВ от 10 до 30 кВ. Трёхступенчатая высокопроизводительная электромагнитная линзовая система обеспечивает разрешение 3 нм (SE при 30 кВ), 4 нм (BSE при 30 кВ) и 8 нм (SE при 3 кВ). Три объективные апертуры регулируются снаружи вакуумной системы без разборки колонны.
Модификация BSEM-691LV — работа с непроводящими образцами
Версия BSEM-691LV оснащена режимом низкого вакуума (10–270 Па) с переключением между режимами одной кнопкой менее чем за 90 секунд. Это позволяет исследовать непроводящие, влажные и пористые образцы (керамику, полимеры, биологические объекты) без напыления проводящего слоя, что сохраняет нативную морфологию поверхности.
Пятиосевой моторизованный эвцентрический столик
Стандартный столик с параметрами X: 0–80 мм, Y: 0–50 мм, Z: 0–30 мм, T: −5°…+70°, R: 360° принимает образцы диаметром до Ø 175 мм и высотой до 40 мм. Опциональный расширенный столик позволяет работать с образцами до Ø 320 мм и высотой до 80 мм (X: 0–150 мм, Y: 0–150 мм, Z: 0–65 мм, T: −10°…+90°). Функция авто остановки при касании защищает образец и детекторы от повреждений.
Богатые аналитические возможности
В стандартную комплектацию входят:
-
SE-детектор — высоковакуумный детектор вторичных электронов (топография поверхности)
-
BSE-детектор — интегрированный детектор обратноотражённых электронов (контраст по атомному номеру)
-
IRCCD — инфракрасная камера для навигации по образцу
Более 10 расширительных интерфейсов обеспечивают подключение:
-
EDS — энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (элементный анализ)
-
WDS — волнодисперсионная рентгеновская спектроскопия
-
EBSD — дифракция обратноотражённых электронов (кристаллографический анализ)
Развитое программное обеспечение
ПО включает: автоматическую регулировку яркости/контраста, автофокус, автоустранение астигматизма, автоматическую настройку нити накала, мультимасштабные измерения, режим сканирования выбранной области, точечное сканирование, 4 скорости сканирования, активную линейку и многое другое. Изображения сохраняются в форматах TIF, BMP, GIF, JPG, PNG с разрешением до 4096 × 3072 пикселей.
Рабочая станция в комплекте
В стандартную поставку входит рабочая станция на базе Intel Xeon с 16 ГБ ОЗУ, 500 ГБ SSD, 1 ТБ HDD, видеокартой NVIDIA P1000 (4 ГБ), монитором 24″, беспроводными клавиатурой и мышью под управлением Windows 10.
Области применения
-
Графен и углеродные наноматериалы
-
Кобальт-оксидные и литиевые аккумуляторные материалы (катоды, аноды)
-
Анализ отказов печатных плат (PCB Failure Analysis) и микросхем
-
Пластиковые порошки и полимерные материалы
-
Пайка и шаровые выводы (solder balls)
-
Биологические и диатомовые структуры
-
Материаловедение, металловедение, промышленный контроль качества