Свяжитесь с нами: +7 499 350-20-60 | info@conetech.ru

Спектроскопический рефлектометр SR500

Spectroscopic Reflectometer Model SR500Спектроскопический рефлектометр является простым и недорогим решением для характеризации тонких пленок. SR500 позволяет определять толщины пленок и их оптические свойства. Рефлектометр имеет модульную конструкцию и может быть доукомплектован по желанию заказчика в любое время.

Модель SR500 имеет расширенный интервал длин волн (от 250 до 1700 нм).

Особенности:

  • Простота установки
  • Простота в управлении с помощью ПО на базе Windows
  • Усовершенствованная конструкция оптики для лучшей производительности системы
  • Система детектирования на основе матрицы, чтобы обеспечить быстрое измерение
  • Измерение толщины пленки и показателя преломления вплоть до 5 слоев
  • Получение спектров отражения,  пропускания и поглощения в течение миллисекунд
  • Возможность использования для мониторинга толщины и показателя преломления в режиме реального времени или в составе технологической цепи
  • Система поставляется с полной библиотекой оптических констант
  • Передовое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать таблицу nk, аппроксимацию эффективной среды или рассеяния для каждой отдельной пленки
  • Возможен апгрейд до микроспектрофотометра, системы картирования, многоканальной системы, системы с большим размером пятна для прямых измерений сквозь структуры с наличием рисунка или обработанные
  • Применим ко многим различного типа подложкам с различными толщинами
  • Доступны различные принадлежности для специальных задач, таких как, например, проведение измерений неровной поверхности
  • 2D и  3D графики и удобный интерфейс работы с данными

Конфигурация системы:

  • Два детектора: матрица CCD для УФ и видимого диапазона, матрица InGaAs для ближнего ИК
  • Источник света: комбинированный дейтериевый и галогенный
  • Доставка света: волоконная оптика
  • Столик: черный анодированный алюминиевый сплав с легкой настройкой высоты, 200 мм x 200 мм
  • Программное обеспечение TFProbe 2.4/2.5
  • Коммуникация: USB
  • Типы измерений: толщина пленки, спектр отражения, показатель преломления

Спецификация:

  • Диапазон длин волн: 250 – 1700 нм
  • Размер пятна: от 500 мкм до 5 мм
  • Размер образца: 200 x 200 мм или 200 мм в диаметре
  • Размер подложки: толщиной вплоть до 50 мм
  • Интервал измеряемых толщин: от 2 нм до 150 мкм
  • Время измерения: 2 мс минимум
  • Точность: лучше, чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрии для образца термически образованного оксида при использовании тех же оптических констант)
  • Воспроизводимость: : < 1 Å

Опции:

  • Фиксатор для измерений на прохождение и поглощение
  • Микропятно для измерений с малой площади размером до 5 мкм
  • Многоканальность для одновременных измерений в нескольких точках
  • Однородность картирования 200 мм или 300 мм пластины

Применение:

  • Производство полупроводников (фоторезист, оксиды, нитриды…)
  • Жидкокристаллические дисплеи (ITO, фоторезист, интервал между ячейками…)
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы
  • Медицинские устройства
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5…
  • Полупроводниковые соединения
  • Функциональные пленки в MEMS/MOEMS
  • Аморфный, нано- и кристаллический Si
Translation