Спектроскопический рефлектометр является простым и недорогим решением для характеризации тонких пленок. SR500 позволяет определять толщины пленок и их оптические свойства. Рефлектометр имеет модульную конструкцию и может быть доукомплектован по желанию заказчика в любое время.
Модель SR500 имеет расширенный интервал длин волн (от 250 до 1700 нм).
Особенности:
- Простота установки
- Простота в управлении с помощью ПО на базе Windows
- Усовершенствованная конструкция оптики для лучшей производительности системы
- Система детектирования на основе матрицы, чтобы обеспечить быстрое измерение
- Измерение толщины пленки и показателя преломления вплоть до 5 слоев
- Получение спектров отражения, пропускания и поглощения в течение миллисекунд
- Возможность использования для мониторинга толщины и показателя преломления в режиме реального времени или в составе технологической цепи
- Система поставляется с полной библиотекой оптических констант
- Передовое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать таблицу nk, аппроксимацию эффективной среды или рассеяния для каждой отдельной пленки
- Возможен апгрейд до микроспектрофотометра, системы картирования, многоканальной системы, системы с большим размером пятна для прямых измерений сквозь структуры с наличием рисунка или обработанные
- Применим ко многим различного типа подложкам с различными толщинами
- Доступны различные принадлежности для специальных задач, таких как, например, проведение измерений неровной поверхности
- 2D и 3D графики и удобный интерфейс работы с данными
Конфигурация системы:
- Два детектора: матрица CCD для УФ и видимого диапазона, матрица InGaAs для ближнего ИК
- Источник света: комбинированный дейтериевый и галогенный
- Доставка света: волоконная оптика
- Столик: черный анодированный алюминиевый сплав с легкой настройкой высоты, 200 мм x 200 мм
- Программное обеспечение TFProbe 2.4/2.5
- Коммуникация: USB
- Типы измерений: толщина пленки, спектр отражения, показатель преломления
Спецификация:
- Диапазон длин волн: 250 — 1700 нм
- Размер пятна: от 500 мкм до 5 мм
- Размер образца: 200 x 200 мм или 200 мм в диаметре
- Размер подложки: толщиной вплоть до 50 мм
- Интервал измеряемых толщин: от 2 нм до 150 мкм
- Время измерения: 2 мс минимум
- Точность: лучше, чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрии для образца термически образованного оксида при использовании тех же оптических констант)
- Воспроизводимость: : < 1 Å
Опции:
- Фиксатор для измерений на прохождение и поглощение
- Микропятно для измерений с малой площади размером до 5 мкм
- Многоканальность для одновременных измерений в нескольких точках
- Однородность картирования 200 мм или 300 мм пластины
Применение:
- Производство полупроводников (фоторезист, оксиды, нитриды…)
- Жидкокристаллические дисплеи (ITO, фоторезист, интервал между ячейками…)
- Криминалистика, биологические пленки и материалы
- Медицинские устройства
- Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5…
- Полупроводниковые соединения
- Функциональные пленки в MEMS/MOEMS
- Аморфный, нано- и кристаллический Si