SIGRAY Apex XCT-150 — рентгеновский микротомограф для решения задач, связанных с анализом отказов, с анализом упаковки полупроводников. Томограф позволяет получать 3D изображение больших образцов с субмикронным разрешением в течение минут.
Основные особенности:
- 3D изображение на неповрежденных образцах диаметром до 300 мм
- 3D пространственное разрешение 0,5 мкм менее чем за 15 минут
- отсутствие артефактов увеличения жесткости излучения
Разрешение 0.5 мкм при неограниченном размере образца
Изображение с пространственным разрешением 0,5 мкм в любом месте на образцах диаметром до 300 мм. С помощью SIGRAY Apex XCT вы можете оптимизировать рабочие процессы FA (анализа отказов), визуализируя целые неповрежденные упаковки, пластины и печатные платы, уменьшая затраты времени и разрушающие протоколы подготовки образцов.
Изохронный сбор данных
Время сбора данных не зависит от размера образца при использовании Apex XCT. В отличие от устаревших систем компьютерной томографии, в которых образцы большего размера означают более длительное время измерения, уникальная геометрия Apex XCT сохраняет высокую производительность даже при очень больших размерах образцов, таких как печатные платы, материнские платы и пластины.
Промышленная производительность
Сканы целых плат с высоким разрешением (воксель 8 микрон) можно сшивать вместе для применения в обратном инжиниринге. По ссылке на видео показан объем из 20 объединенных объемов, каждое сканирование занимает всего 36 минут.
Неискаженный контраст
SIGRAY Apex XCT устраняет многие артефакты изображения, влияющие на работу обычных 3D-рентгеновских систем, такие как увеличение жесткости излучения, полосы/»волны», фотонное голодание и металлические артефакты. Сравните ту же область, полученную с помощью Apex XCT (слева) и ведущей традиционной XRM/микроКТ (справа) — результат Apex XCT демонстрирует резкое повышение качества изображения при значительном сокращении времени сканирования.
Нанофокусный источник рентгеновского излучения в герметичной трубке
Современный нанофокусный источник рентгеновского излучения в герметичной трубке мощностью 25 Вт и напряжением 30–160 кВп сочетает высочайшую мощность и пространственное разрешение с не требующей технического обслуживания работой.
Высокоэффективный детектор
Система детектирования Apex XCT была тщательно оптимизирована для работы с высоким разрешением и высокой пропускной способностью при напряжении до 160 кВ. Устаревшие системы КТ используют тонкие сцинтилляторы для получения изображений с большим увеличением, которые крайне неэффективны при высоких энергиях. Для сравнения, Apex XCT поглощает гораздо более широкую часть рентгеновского спектра, что значительно повышает пропускную способность.
