Микроспектрофотометр используется для характеризации оптических свойств тонких пленок и толстых покрытий на микронных участках. Микроспектрофотометр также называют микрорефлектометром, микроспектрометром, микрофотометром и т.д. Уникальная конструкция, созданная инженерами Angstrom, позволяет получать цифровое изображение, видео, проводить редактирование, получать информацию по отражению, прохождению и поглощению лучей. Набор данных происходит за миллисекунды. Программное обеспечение TFProbe позволяет пользователю устанавливать столик для нагрева или охлаждения для изучения кинетики в режиме реального времени с точки зрения изменения оптических свойств, таких как коэффициент отражения, коэффициент пропускания, толщина покрытия, показатель преломления (оптические константы) и т.д. Также доступна функция автоматического картирования в различных моделях микроспектрофотометров при использовании моторизованного X-Y столика или Rho-Theta столика, а также функция автоматизированного фокуса. Все оси могут управляться джойстиком. Микроспектрофотометр покрывает диапазон длин волн от глубокого УФ до близкого ИК. Выбор диапазона зависит от разных факторов: от интервалов толщин, от того, какой диапазон интересен с точки зрения отражения или прохождения и т.д. MSP300 имеет интервал длин волн от 400 до 1000 нм, который подходит для многих типичных задач.
Особенности:
- Простота управления, ПО на базе ОС Windows
- Передовая оптика и надежная конструкция для максимального времени безотказной работы и лучшей производительности системы
- Система детектирования на основе матрицы, чтобы обеспечить быстрое измерение
- Доступный по цене, портативный и компактный по размерам
- Измерение толщины пленки и показателя преломления вплоть до 5 слоев на микронных участках
- Позволяет накапливать спектры отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды
- Возможность использования для мониторинга толщины, спектра и показателя преломления в режиме реального времени
- Система поставляется с полной библиотекой оптических констант
- Передовое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать таблицу nk, аппроксимацию эффективной среды или рассеяния для каждой отдельной пленки
- Система сочетает возможности наблюдения, накопления спектров, моделирования, измерения толщин
- Применим ко многим различным типам подложек с разными толщинами с размерами вплоть до 200 мм
- 2D и 3D графики и удобный интерфейс работы с данными
- Передовое программное обеспечение для измерения углов, расстояний, площадей, счета частиц и т.д.
- Доступны опции
Конфигурация системы:
- Детектор: CCD матрица с 2048 пикс.
- Источник света: галогенная лампа
- Стол: алюминиевый сплав, с ручной регулировкой хода 150 мм на 150 мм
- Объективы с большим рабочим отрезком: 10x, 40x или 50x
- Коммуникация: USB
- Типы измерений: спектры отражения и пропускания, толщины пленок и показатель преломления, размеры
Спецификация:
- Интервал длин волн: от 400 до 1000 нм
- Разрешение по длине волны: 1 нм
- Размеры пятна: 100 мкм (4x), 40 мкм (10x), 8 мкм (50x)
- Размер образца: 150 мм x 150 мм стандартно
- Толщина подложки: вплоть до 20 мм
- Интервал измеряемых толщин: от 10 нм до 25 мкм
- Время измерения: от 2 мс
- Точность: лучше, чем 0.5%
- Воспроизводимость: < 2 Å
Опции:
- Расширение интервала длин волн в сторону глубокого УФ (MSP100) или ближнего ИК (MSP500)
- Более мощная оптика для меньших размеров пятна
- Кастомизированные конфигурации для специальных задач
- Столик для нагрева или охлаждения для динамических исследований
- Опциональный столик для образцов 300 мм
- Увеличение разрешения по длине волны до 0.1 нм
- Различные фильтры для специальных задач
- Принадлежности для измерения флуоресценции
- Принадлежности для поляризационных задач
- Столик для автоматического картирования пластин вплоть до 300 мм
Применение:
- Производство полупроводников (фоторезист, оксиды, нитриды…)
- Жидкокристаллические дисплеи (ITO, фоторезист, интервал между ячейками…)
- Криминалистика, биологические пленки и материалы
- Чернила, минералогия, пигменты, тонеры
- Фармацевтические препараты, медицинские приборы
- Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5…
- Полупроводниковые соединения
- Функциональные пленки в MEMS/MOEMS
- Аморфный, нано- и кристаллический Si